两轴气浮直线台你了解吗？接下来小编为大家介绍一下，希望对您有所帮助。

系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求。

Renishaw XL80激光干涉仪：气浮直线台的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Yaw。